该晶圆打造厂应用于西北省份，基本研发加工8屏幕尺寸半导体材料晶圆，单日废气废气消费量上涨约800吨。考虑到研发加工进程中实用大批盐酸确定晶圆蚀刻，引起废气中氟化物溶度达到了200-300mg/L，远超发达国家废气产生要求（10mg/L以上）。 废水处理化学物质及来历 废污水关键是来自于4个部门： 晶圆蚀刻制作工序 ：含高氧化还原电位氟化物（HF）、盐酸及少量的高价属 物理机械厂cnc精密机械加工（CMP）生产废水 ：含nm级硅粉末、有机物络合剂 设配洗掉废液 ：含异丙醇、氧化还原电位等无机物 补救方案方案 按照"化学工业乳浊液+混泥土乳浊液+广度过滤水"三类加工处理程序： 一級净化处理 ：加药系统氯化钙和氢氧化反应钙，导致氟化钙石雕文化沉淀，氟化物剔除率达85% 下级操作 ：获取PAC（汇聚氯化铝）和PAM（PP酰胺），剔除胶体溶液态环境大气污染物 三级考试治理 ：可以通过多有机溶剂滤水器和生物炭物理吸附，有水出氟化物溶液浓度维持在8mg/L下列 要点机械包涵：pH智能调低系统、斜管滤渣池、板框压滤机厂家（污水脱水过滤）。 结果英文成果 业务程序运行一年监控动态数据显示信息： 氟化物差不多溶液浓度：7.2mg/L（大于地区标准规范） COD避开率：92% 活性污泥含水分率：≤65% 年收旧氟化钙副软件约150吨，控制资原化再生利用