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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆生产加工线配套设施的超净水系统的,日常所产生含硅生产废水150吨。生产废水里面虽无血本属,但硅含铁高易水垢,且电阻值率需到18MΩ·cm这样才能回收利用。原先的处理工学院艺不可能考虑新颁行的《智能重工业水被空气污染物尾气的排放要求要求》(GB39731-2020)比较尾气的排放要求规定值。 生产废水材质特质 常见环境破坏物 :悬浊液硅(200-300mg/L)、粉末硅(粒度分布0.1-1μm) 特殊的条件 :TOC<10μg/L,硼含锌量<5μg/L 水质检测特征参数 :低电阻率(<50μS/cm)但硅无机化合物结构更复杂 补救艺环节 改革创新适用"梯级膜提取+电去化合物"结构施工工艺: 微滤预治理 :1μm卫浴陶瓷膜手机拦截大粉末硅,通量形成80LMH 亚铁离子相互交换硅胶粘合剂 :D201大孔树脂材料选用性吸出硅酸分子结构 二次RO系統 :一号段环保再生资源回产出率60%,2、段用高脱硼膜开关元件 EDI电去阴阳离子 :直流电强度2A/m²,坚持彻底清除残存正离子 分光光度计消毒杀菌 :254nm紫外光线用药量40mJ/cm² 技术工艺成效 发掘专属阻硅剂(有机的胺类黏结物),减缓膜影响时间3倍 EDI输出模块去创新流道设定,硅清理率优化至99.8% 上线硅分享仪(侧量领域0.1-500μg/L)变现深度贫困掌控 正常运行工作成效 经三是方在线检测: 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L下降0.3μg/L 设备收购 率从原40%升级至68% 膜根换期限减少至5年,年程序运行的成本较低35%

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