某半导体材料造成各个企业因晶圆家电清洗制作工艺生产含氨废液,出水量200吨/天。废液中除氧化还原电位外还含带氟化物和氢化物发生器巨资属,解决高难度大。本土废气环保标准让氧化还原电位<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废污水的成分及原因
晶圆清理废水处理方法(主要是种类):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀制作工序电镀废水:含微量分析铜、镍等巨资属,pH值浮动大
CMP研磨抛光废污水:含硅粒子及高锰酸盐指数
治疗加工具体步骤
分为"普通机械乳浊液+膜离心分离+折点氯化"组合名字制作工艺:
预进行处理
:污泥脱水CaCl2除氟,调节pH在7.5-8.
超滤膜体系
:剔除0.01μm上颗粒剂物
反渗透装置到浓缩咖啡
:将氯离子溶缩至1000mg/L以内
折点氯化
:透彻把控好氯添加量,将氧化还原电位转变为离氮气
亚铁离子交易
:安全保障天价属不合格
然后目的
氟化物维持<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属含量的少于在线检测限
水循环率达75%
污水造成量降低40%