成都某半导体处置器处置器研发厂,晶圆生产制造方式中行成含硅、氟的特种污废液 ,制作处置产值1200吨/日。污废液 组分复杂化,含纳米级级硅粒状及盐酸,老式处置技术根本无法未达标。
生产废水基本成分及渠道
常见的废弃物
:电解质溶液硅(100-500nm孔径)、氟正离子(200-300mg/L)、异丙醇
从何而来工艺
:晶圆刻蚀生活污水(45%)、CMP生物学机械厂镜面抛光生活污水(40%)、环保设备冲刷水(15%)
办理制作工艺制作流程
创新性运用"生物沉淀自己+独特的膜剥离 "高技术自驾路线:
钙盐沉淀自己
:加药系统氯化钙祛除氟阴阳离子(添加CaF2沉淀物)
水解酸化池反应迟钝
:结合二沉池剂建立固体硅脱稳
管式微滤
:0.1μm钻孔大小膜挪用微细颗粒剂
反固化系统的
:脱盐率>98%,回收并率75%
蒸发掉成果
:浓水段变现氟化物临“0”排放标准
不可能的效果
氟化物浓度值:<8mg/L(达不到中国一层规定10mg/L)
硅浓度:<5mg/L
水产品造纸废水处理率:70%应用于冷却后塔补水保湿
危险废物回收利用:蒸发器碎渣量较过去的艺增多60%